Từ nhiều năm nay, các máy quang khắc dùng công nghệ tia EUV của hãng ASML vẫn là những thiết bị duy nhất có thể giúp tạo nên các con chip có tiến trình nhỏ hơn 7nm. Thế nhưng từ giữa tháng trước, công ty Nhật Bản Canon đã bắt đầu cung cấp cho khách hàng các thiết bị có thể tạo nên chip 5nm mà không cần dùng đến quy trình quang khắc – lần đầu tiên phá được thế độc quyền của ASML trên thị trường này.